反映真空質(zhì)量——分壓力測量

2020-05-06

　　在超高真空下，氣體的成分常常是極不相同的。在氣體成分未明的情況下，超高真空計的讀數(shù)就無法確定其對應(yīng)的壓力。如果電離真空計是以空氣或氮校準(zhǔn)的，所測得的壓力值為與混合氣體離子流總和相對應(yīng)的等效空氣壓力或等效氮壓力。

　　由于電離真空計對不同氣體的相對靈敏度相差很大，因此，電離真空計對混合氣體測得的等效氮壓力不是混合氣體的真實壓力，有時甚至?xí)袛?shù)量級的誤差。為了測量真空中混合氣體組分和相應(yīng)的分壓力值，必須進行分壓力測量，所用的儀器稱為分壓力真空計。由分壓力真空計測得的混合氣體各組分分壓力之和才是其全壓力，這就同時給出了真空的量與質(zhì)兩個方面。

　　分壓力真空計是專用的小型質(zhì)譜儀器——真空質(zhì)譜計。目前的分壓力真空計，大多數(shù)由于精度不夠高，只能用于分析氣體各種成分的存在并估計其大小，尚未能進行定量測定，這時稱為殘余氣體分析器。

　　作為分壓力真空計或殘余氣體分析器的真空質(zhì)譜計都屬于電離類型的，按原子離子或分子離子的質(zhì)荷比進行分析，分析有三個階段：

　　1、在離子源中用電子碰撞的辦法將氣體電離。

　　2、在質(zhì)量分析器中利用磁偏轉(zhuǎn)、共振、飛行時間不同等質(zhì)量分離技術(shù)，將離子按質(zhì)荷比不同進行分離。

　　3、檢測器(或離子收集極)接收分離的離子，將離子流放大，在顯示裝置上顯示出每一質(zhì)荷比的離子流強度。

　　真空質(zhì)譜計能掃描1～50u，以至l～300u的質(zhì)量范圍，并能分辨相隔1u的相鄰離子。