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推薦鈦升華泵在提高同步輻射環(huán)真空度上的作用

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    參考國內外濺射離子泵的測試方法和行業(yè)標準,提出了微型濺射離子泵性能的測試方法,并利用現(xiàn)有實驗設備設計了測系統(tǒng),實際測試了微型濺射離子泵的各項性能指標。

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