真空系統(tǒng)
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真空容器充氣時(shí)間計(jì)算實(shí)例
兩種計(jì)算方法在充氣后半部分(真空容器壓力大于臨界壓力)充氣速率幾乎相等。而剛開(kāi)始充氣時(shí)相差較大。當(dāng)未考慮壅塞流時(shí),剛開(kāi)始充氣時(shí)壓力每上升1333.22Pa充氣時(shí)間超過(guò)200s,隨后逐步縮短到10s左右,這顯然不符合常理。
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真空容器充氣時(shí)間計(jì)算公式
真空容器充氣時(shí)間的計(jì)算, 徐樹(shù)深、夏正勛均推導(dǎo)出了真空容器充氣時(shí)間的計(jì)算通式。本文從壅塞流的角度, 認(rèn)為徐樹(shù)深等的公式僅適用于亞音速充氣。本文給出了判別音速充氣與亞音速充氣的臨界壓力, 并推導(dǎo)出了音速充氣與
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比對(duì)法真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)實(shí)驗(yàn)原理
膨脹法真空計(jì)校準(zhǔn)系統(tǒng)是靜態(tài)校準(zhǔn)系統(tǒng), 它的最大優(yōu)點(diǎn)是真空系統(tǒng)中的氣流分布是一種較理想的隨機(jī)狀態(tài), 能夠滿足氣體分子運(yùn)動(dòng)論的基本假設(shè)。
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升壓法測(cè)量小孔流導(dǎo)裝置與測(cè)量原理
對(duì)于形狀規(guī)則的小孔的流導(dǎo)可以通過(guò)理論計(jì)算得到, 對(duì)于尺寸無(wú)法準(zhǔn)確測(cè)量的小孔, 其流導(dǎo)只能通過(guò)實(shí)驗(yàn)的方法測(cè)量得到。測(cè)量方法通常有恒壓法、定容法和線性真空規(guī)法。測(cè)量流導(dǎo)的裝置主要由氣體流量計(jì)、定容室、抽氣系統(tǒng)
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真空校準(zhǔn)裝置的極限真空度獲得方法
從極限真空度的測(cè)試結(jié)果看, 選擇磁懸浮渦輪分子泵與NEG 泵組合方案, 在XHV 校準(zhǔn)室中獲得了10-10Pa 量級(jí)的極高真空度, 達(dá)到了預(yù)期效果, 為實(shí)現(xiàn)超高/極高真空校準(zhǔn)奠定了基礎(chǔ)。
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真空校準(zhǔn)裝置的分流法原理
流量分流法基本思想,即將氣體微流量計(jì)提供的氣體流量引入到一個(gè)分流室中,然后再通過(guò)分流室上兩個(gè)分子流流導(dǎo)相差100~1000 倍的小孔將氣體流量分流到XHV校準(zhǔn)室和UHV校準(zhǔn)室中, 這樣當(dāng)UHV 校準(zhǔn)室中的校準(zhǔn)下限為10-7時(shí),X
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分流法超高/極高真空校準(zhǔn)裝置的組成
分流法超高/極高真空校準(zhǔn)裝置主要由極高真空(XHV)系統(tǒng)、超高真空(UHV)系統(tǒng)、流量分流系統(tǒng)三部分組成,本文詳細(xì)介紹了這三部分系統(tǒng)的工作原理。
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玻璃制擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)
擴(kuò)散泵開(kāi)始工作之前, 必須先開(kāi)動(dòng)機(jī)械泵抽氣 達(dá)到預(yù)備真空,便使用電爐對(duì)擴(kuò)散泵蒸發(fā)器中的油進(jìn)行加熱, 擴(kuò)散泵油開(kāi)始沸騰, 油蒸汽開(kāi)始順向每一級(jí)噴口定向噴發(fā), 形成射流。
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儲(chǔ)存環(huán)的真空抽氣系統(tǒng)
儲(chǔ)存環(huán)真空系統(tǒng)能夠正常運(yùn)行。隨著積分流強(qiáng)的增加,由同步輻射光引起的氣體解吸量逐漸減小,動(dòng)態(tài)真空變好。當(dāng)積分流強(qiáng)達(dá)到100A·hr時(shí),單位流強(qiáng)引起的壓強(qiáng)上升小于1×10-10Pa/mA。真空系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定,在8個(gè)多月的運(yùn)行中,
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真空系統(tǒng)的構(gòu)成
真空系統(tǒng)的壓力比周?chē)拇髿鈮旱?因此必須要有一個(gè)密封的容器。這個(gè)容器被稱為真空腔。要使真空腔內(nèi)成為真空狀態(tài),必須使用排氣泵來(lái)排氣。因此真空腔和排氣泵即成為最單純的真空設(shè)備例子。
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如何有效的降低真空系統(tǒng)漏氣率的措施
在真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)中,提高系統(tǒng)的密封性,降低系統(tǒng)的漏氣率是我們一直追求的目標(biāo),經(jīng)過(guò)對(duì)真空室內(nèi)部結(jié)構(gòu)、密封形式、密封件材質(zhì)、靜密封結(jié)構(gòu)等方面的精心選擇與設(shè)計(jì),提高了真空系統(tǒng)的密封性能,加快了抽氣速度,縮短
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激光陀螺研制中的超高真空技術(shù)
激光陀螺是迄今為止在慣性技術(shù)領(lǐng)域唯一真正獲得了卓有成效的實(shí)際應(yīng)用的非機(jī)電式中高精度慣性敏感儀表。它具有穩(wěn)定性好、精度高、動(dòng)態(tài)范圍寬、壽命長(zhǎng)等諸多優(yōu)點(diǎn)。而超高真空的獲取是激光陀螺制造過(guò)程中至關(guān)重要的環(huán)節(jié)
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幾種典型的超高真空系統(tǒng)圖
本文介紹了幾種典型的超高真空系統(tǒng)圖:用擴(kuò)散泵和鈦泵并聯(lián)為主泵,擴(kuò)散泵單獨(dú)串聯(lián)前級(jí)機(jī)械泵、由擴(kuò)散泵串聯(lián)擴(kuò)散泵,再串聯(lián)機(jī)械泵、主泵為分子泵串聯(lián)機(jī)械泵、用鈦泵或?yàn)R射離子泵做為主泵、用低溫泵做為主泵等等超高真
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幾種典型的高真空系統(tǒng)圖
本文介紹了幾種典型的高真空系統(tǒng)圖:擴(kuò)散泵串聯(lián)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵串聯(lián)油增壓泵再串聯(lián)機(jī)械泵、擴(kuò)散泵串聯(lián)羅茨泵,再串聯(lián)機(jī)械泵的真空系統(tǒng)。
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典型的中真空系統(tǒng)圖
中真空系統(tǒng)一般是由兩個(gè)以上的泵串聯(lián)組成的:油增壓泵串聯(lián)機(jī)械泵、羅茨泵串聯(lián)機(jī)械泵、羅茨泵串聯(lián)小型羅茨泵再串聯(lián)機(jī)械泵、以油增壓泵和羅茨泵為主泵,兩個(gè)泵出口串聯(lián)羅茨泵.再串聯(lián)機(jī)械泵等等真空系統(tǒng)。
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真空系統(tǒng)設(shè)計(jì)中應(yīng)該注意的問(wèn)題
真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)有許多要注意的事項(xiàng):機(jī)械泵用軟管減振、真空元件和真空泵等相互聯(lián)接時(shí),應(yīng)盡量作到抽氣管路短,管道流導(dǎo)大,導(dǎo)管直徑一般不小于泵口直徑等等
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儲(chǔ)氣罐和維持泵的選擇與作用
停止前級(jí)泵工作,關(guān)閉前級(jí)管道閥門(mén),在主泵出口處設(shè)置維持泵或儲(chǔ)氣罐,這就可以保證即能排出主泵內(nèi)的氣體,又可以節(jié)省能源消耗。使用維持泵或者儲(chǔ)氣罐即能大量節(jié)約能源,又能減小環(huán)境噪音。
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如何選配合適的前級(jí)泵和預(yù)抽泵
選取前級(jí)泵時(shí)應(yīng)遵循前級(jí)泵應(yīng)保證能及時(shí)排出主泵所排出的氣體流量,前級(jí)泵在主泵出口處造成的壓強(qiáng)應(yīng)低于主泵的最大排氣壓強(qiáng),兼作預(yù)抽泵的前級(jí)泵應(yīng)滿足預(yù)抽時(shí)間的要求。
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真空系統(tǒng)的設(shè)計(jì)中的主泵的選擇
真空系統(tǒng)選主泵要考慮兩個(gè)方面,一是選擇主泵的類(lèi)型,二是確定主泵抽速的大小。主泵類(lèi)型選擇主要根據(jù)被抽容器所要求達(dá)到的極限真空度和工作真空度、被抽氣體的種類(lèi)以及費(fèi)用。主泵抽速大小的確定主要根據(jù)被抽容器的工
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