真空規(guī)管
-
分子束法UHV/XHV校準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)與原理
介紹了采用分子束法校準(zhǔn)超高/極高真空規(guī)的原理、校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及性能,并分析了它們的優(yōu)缺點。
-
超高/極高真空校準(zhǔn)研究進(jìn)展
介紹了采用分子束法、壓力衰減法、流導(dǎo)調(diào)制法以及分流法校準(zhǔn)超高/極高真空規(guī)的原理、校準(zhǔn)系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)及性能,并分析了它們的優(yōu)缺點。
-
略論絕對真空計量標(biāo)準(zhǔn)
隨著真空度的提高,真空度計量標(biāo)準(zhǔn)的絕對性越來越下降;相對真空度計量標(biāo)準(zhǔn)而言,氣體微流量標(biāo)準(zhǔn)的絕對性還要更差些。
-
活塞式壓力計的基本原理及應(yīng)用
本文對活塞壓力計的工作原理、結(jié)構(gòu)類型、誤差因素進(jìn)行了較為詳細(xì)的介紹,并結(jié)合具體實例,對活塞壓力計的不確定因素進(jìn)行了定量分析。
-
基于MEMS技術(shù)的電容式微型真空傳感器
介紹了一種以MEMS技術(shù)為基礎(chǔ)的電容式硅微真空傳感器。該傳感器主要采用p+硅自停止腐蝕技術(shù)和陽極鍵合技術(shù)制作, 形成了玻璃-硅-玻璃的三明治結(jié)構(gòu)。
-
動態(tài)流量法超高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置
研制成功的動態(tài)流量超高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置是一臺用來校準(zhǔn)真空規(guī)的絕對真空計量標(biāo)準(zhǔn)。裝置由校準(zhǔn)系統(tǒng)、微流量計系統(tǒng)、抽氣系統(tǒng)和計算機控制系統(tǒng)組成。
-
動態(tài)流量法超高真空標(biāo)準(zhǔn)裝置的性能測試
動態(tài)流量法超高真空裝置是用于校準(zhǔn)真空規(guī)的絕對真空計量標(biāo)準(zhǔn)。它由校準(zhǔn) 系統(tǒng)、恒壓式氣體微流量計和抽氣系統(tǒng)組成。
-
超高/極高真空測量發(fā)展綜述
介紹了熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)的研究進(jìn)展、新型室溫電子源和真空的激光電離測量技術(shù)在超高/極高真空測量中的應(yīng)用、小型化超高/極高真空電離規(guī)的發(fā)展以及我國在超高/極高真空測量方面的研究進(jìn)展。
-
動態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置
動態(tài)流導(dǎo)法真空校準(zhǔn)裝置是真空計量的標(biāo)準(zhǔn),可用于高真空和超高真空規(guī)的校準(zhǔn),真空度的校準(zhǔn)范圍為10-1~5×10-7 pa,合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為0.69%~1.4%。
-
恒壓式氣體微流量計的性能測試
介紹了恒壓式氣體微流量計的組成及性能實驗。實驗結(jié)果表明,氣體流量的測量范圍為(.96×10-9 to4.76×10-4)Pa·m3 / s,不確定度小于4%。標(biāo)準(zhǔn)漏孔的校準(zhǔn)結(jié)果與德國PTB 校準(zhǔn)結(jié)果的一致性好于1.3%。
-
一種方便高效的真空規(guī)校準(zhǔn)裝置的設(shè)計
講述了為解決一般采用比對法校準(zhǔn)真空規(guī)的裝置所存在的一次校準(zhǔn)真空規(guī)數(shù)量較少,且由于校準(zhǔn)表和被校表處在不同的抽空位置造成的讀數(shù)誤差等問題,所設(shè)計出的一套方便高效的真空規(guī)校準(zhǔn)裝置。
-
靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)下限延伸方法研究
影響靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)下限的主要因素是器壁放氣,本文提出了使用非蒸散型吸氣劑泵(NEGP) 消除器壁放氣影響來延伸校準(zhǔn)下限的方法。這種方法將靜態(tài)膨脹法真空標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)能力的下限延伸到了10-7Pa 量級。
真空資訊
推薦閱讀
熱門專題
閱讀排行
- 1Pirani(皮拉尼)真空計
Pirani皮拉尼真空計的金屬圓筒內(nèi)部設(shè)有一白金細(xì)線,兩端連接電極
- 2電離真空計的工作原理
電離真空計是通過使氣體分子電離,測量離子數(shù)量(電流)而得出壓強
- 3冷陰極電離真空計的工作原理圖
冷陰極電離真空計是一種相對真空計。它由規(guī)管和測量電路兩部分組
- 4復(fù)合真空計的原理與使用方法
復(fù)合真空計由溫差電偶真空計和熱陰極電離真空計組成,電離真空規(guī)
- 5熱陰極電離真空計的工作原理
通過測定氣體中被電離的離子流的大小, 確定氣體的壓 強。熱陰極
- 6真空區(qū)域的幾種劃分
真空劃分區(qū)域的依據(jù)主要考慮真空狀態(tài)下氣體分子運動的物理特性、
- 7真空度的表征、單位和真空區(qū)域劃分
真空度的表征、單位和真空區(qū)域劃分
- 8壓縮式真空計(麥?zhǔn)嫌?的工作原理
壓縮式真空計是對U型管真空計的重大改進(jìn),它是依據(jù)理想氣體的波
- 9電容式薄膜真空計的工作原理圖
根據(jù)彈性薄膜在壓差作用下產(chǎn)生應(yīng)變而引起電容變化的原理制成的真
- 10真空計的分類及其適用量程范圍
本文介紹了真空計的分類及其適用壓力測量范圍,以便大家選型。