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集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

低溫冷凝泵的抽氣特性

本文介紹了低溫冷凝泵的理論抽速、低溫冷凝泵的實際抽速、低溫冷凝泵的極限壓強(qiáng)、低溫泵的降溫時間、低溫泵的工作壽命等關(guān)于低溫泵的抽氣特性計算公式。

低溫泵的抽氣原理與分類與結(jié)構(gòu)

利用低溫表面上的吸附劑和打在其上的氣體分子發(fā)生吸附而達(dá)到抽氣作用的泵叫低溫吸附泵。根據(jù)所用吸附劑不同，又可分為三種類型： 非金屬吸附劑泵、金屬吸附劑泵、氣體霜。

低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)

低溫泵的抽氣原理主要是利用低溫表面抽除真空容器中的氣體來獲得和保持真空。本文圖文詳解低溫泵的原理與結(jié)構(gòu)。

低溫泵測試系統(tǒng)的搭建

低溫泵的測試系統(tǒng)原理圖如圖所示：系統(tǒng)包括低溫泵、干泵、測試容器、真空規(guī)、氣體流量計和閥門等。

低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用實例

本文以實例介紹了低溫泵在超高真空爐中的應(yīng)用； 重點介紹了低溫泵真空系統(tǒng)的設(shè)計思路，真空系統(tǒng)的主要配置和注意事項，低溫泵的選型計算，并用圖示方法詳細(xì)介紹了低溫泵系統(tǒng)的安裝、使用和維護(hù)等環(huán)節(jié)。

HL-2M內(nèi)置式低溫泵基于DSMC方法的抽速計算

HL-2M內(nèi)置式低溫真空泵的復(fù)雜性和重要性要求在設(shè)計階段就的對低溫真空泵的抽氣性能進(jìn)行評估，甚至是定量的計算。作為一個復(fù)雜的系統(tǒng)，HL-2M內(nèi)部空間留給大型低溫泵的空間是極其有限的；并且從制造和加工的成本考慮，

低溫泵的常見幾種分類

本文根據(jù)低溫泵的介質(zhì)的供應(yīng)方式將低溫泵進(jìn)行了分類，并簡單的描述了其工作原理和工作方式。

大口徑低溫泵之制冷機(jī)R65的研制

介紹了用于大口徑低溫泵的R65制冷機(jī)的結(jié)構(gòu)設(shè)計，回?zé)崞鞯脑O(shè)計及材料的選擇，以及制冷功率及可靠性測試的試驗結(jié)果。

大口徑低溫泵抽速性能研究

本文在總結(jié)給出低溫泵抽速的理論計算公式基礎(chǔ)上，介紹了實際真空系統(tǒng)的構(gòu)成及低溫泵在實際真空系統(tǒng)中抽速的測量方法。

低溫泵的工作原理及構(gòu)造示意圖

低溫泵的工作原理是利用氣體在超低溫表面發(fā)生物理吸附而達(dá)到排氣的效果。本文講述了低溫泵的工作原理及構(gòu)造示意圖。

活性炭的預(yù)處理對低溫泵工作性能的影響

本文將對比研究不同方法處理的活性炭對低溫泵工作性能的影響，為高性能的低溫泵的研制與生產(chǎn)提供了改進(jìn)方向。

低溫泵的常見的三種類型

按照低溫介質(zhì)的供給方式，低溫泵分為流程低溫泵、貯槽式低溫泵、小型制冷機(jī)低溫泵。

低溫泵快速再生系統(tǒng)研究

本文對一種低溫泵的吸附陣結(jié)構(gòu)分析并設(shè)計了一種結(jié)合自動控制功能的快速再生加熱系統(tǒng)，該系統(tǒng)由單片機(jī)編程控制，自動化程度高，再生時間短，使用方便，為國內(nèi)低溫泵快速再生環(huán)節(jié)的發(fā)展提供借鑒。

乙烯裝置低溫泵的選型與操作問題探討

文章介紹了乙烯裝置中的低溫泵選型和操作方面應(yīng)注意的問題，為相關(guān)工程人員提供一定的參考。

基于流場數(shù)值模擬的磁力驅(qū)動冷凝泵入口流動分析

為了提高磁力驅(qū)動冷凝泵的抗汽蝕性能，在泵葉輪入口處配置了變螺距誘導(dǎo)輪，并建立了吸入口配置變螺距誘導(dǎo)輪和未配置變螺距誘導(dǎo)輪的兩種模型。

基于DCS的EAST內(nèi)置低溫泵監(jiān)控系統(tǒng)設(shè)計

本文主要講述在EAST 低溫控制系統(tǒng)基礎(chǔ)上，基于DCS結(jié)構(gòu)設(shè)計內(nèi)置低溫泵的監(jiān)控系統(tǒng)，從而實現(xiàn)低溫泵閥箱冷卻、運行、回溫整個過程的自動監(jiān)控。

低溫吸附泵用椰殼活性炭的性能測試

低溫泵液壓驅(qū)動系統(tǒng)的應(yīng)用

闡述了低溫泵液壓驅(qū)動系統(tǒng)的設(shè)計原理，分析了低溫泵液壓驅(qū)動系統(tǒng)的特點和優(yōu)勢，為低溫泵液壓驅(qū)動系統(tǒng)的推廣應(yīng)用提供技術(shù)基礎(chǔ)。

300LDTN-200型立式多級筒袋式冷凝泵的研制

通過新設(shè)計高汽蝕性能、高效率的首級葉輪和誘導(dǎo)輪的水力模型，創(chuàng)新結(jié)構(gòu)設(shè)計了300LDTN-200型立式多級筒袋冷凝泵的吸入裝置、軸向力平衡裝置和軸封裝置的結(jié)構(gòu)。