低溫泵
推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀
本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
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G-M低溫泵系統(tǒng)的故障診斷與分析
低溫泵系統(tǒng)的故障主要有: 壓縮機(jī)故障、低溫泵故障和再生故障。壓縮機(jī)故障又分為潤滑油泄漏、氦氣泄漏、不能啟動和噪音。低溫泵故障又分為低溫泵不能冷卻、低溫泵噪音。
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中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的基本結(jié)構(gòu)
中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的主體基本結(jié)構(gòu)，即：以頂部主法蘭為固定支撐，4.5K雙面活性炭涂層的低溫冷面結(jié)合77K的經(jīng)黑化處理過的V字型折流板為主體部件的液氦和液氮雙回路系統(tǒng)。
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幾種組合吸附劑的吸氫等溫線的測定及分析
測定了幾種組合吸附劑在低壓室溫下的吸氫等溫線,該組合吸附劑是由5A分子篩和含有不同比例PdO和Ag2O的吸氣劑組成的。本文對這些吸氫等溫線進(jìn)行了分析,擬合出在一定范圍內(nèi)適用的吸氫等溫方程式。
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用制冷機(jī)低溫泵獲得清潔無油高真空
制冷機(jī)低溫泵以其抽速大和無污染的特點，在各行各業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。文章介紹了制冷機(jī)低溫泵的工作原理、結(jié)構(gòu)和特點，著重介紹了自主設(shè)計生產(chǎn)的制冷機(jī)低溫泵在國內(nèi)最大的空間環(huán)境模擬設(shè)備中調(diào)試和測量的情況，為獲
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大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的其它一些參數(shù)設(shè)計
介紹了我國某大型空間環(huán)境試驗設(shè)備中的大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的設(shè)計研究工作, 對設(shè)計研究中的一些技術(shù)問題進(jìn)行了研究探討。
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氦制冷低溫真空系統(tǒng)的抽速和熱負(fù)荷的最佳化設(shè)計
影響大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)抽速和熱負(fù)荷的主要結(jié)構(gòu)參數(shù)相互制約, 需要通過蒙特卡洛方法進(jìn)行最佳化設(shè)計。
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大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)主要結(jié)構(gòu)設(shè)計
大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的主要技術(shù)性能基本上可以由系統(tǒng)抽速、系統(tǒng)降溫時間和抽氣面積三項指標(biāo)來表達(dá)。氦制冷系統(tǒng)的制冷功率對大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的主要技術(shù)性能的影響也是很大的。
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制冷機(jī)低溫泵的常見再生方式
低溫泵捕集的氣體可以以固態(tài)、氣態(tài)或液態(tài)方式除去, 由于以固態(tài)方式除去冷凝物存在很多技術(shù)難題,根據(jù)加熱方式的不同, 再生方式一般分為:自然加熱再生、氣體沖洗再生、電加熱再生三類。
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