螺桿式無油機械真空泵的結(jié)構(gòu)原理

2020-05-03 真空技術(shù)網(wǎng) 真空技術(shù)網(wǎng)整理

  螺桿式無油機械真空泵是利用齒輪傳動同步反向旋轉(zhuǎn)的相互嚙合而不接觸的左螺桿與右螺桿作高速轉(zhuǎn)動,利用泵殼和相互嚙合的螺旋將螺旋槽分隔成多個空間、形成多個級,氣體在相等的各個槽內(nèi) ( 柱形等螺距 ) 進(jìn)行傳輸運動,但無壓縮,只有螺桿最末端的螺旋結(jié)構(gòu)對氣體有壓縮作用。

  螺桿的各級間可形成壓力梯度,以分散壓差和提高壓縮比。各部間隙和泵轉(zhuǎn)速對泵的性能有很大影響。在設(shè)計螺桿各部的間隙時,要考慮膨脹、加工及裝配精度和工作環(huán)境 ( 如抽除含粉塵氣體等 ) 等。該泵與羅茨真空泵一樣不設(shè)排氣閥。

螺桿式機械真空泵

圖25:螺桿式機械真空泵

  圖 25 為日本橙山工業(yè)株式會社的 SDV-1500 泵的結(jié)構(gòu)示意圖。泵是立式結(jié)構(gòu),進(jìn)氣口在上方,排氣口在中部,下部為電機和潤滑油池。螺桿轉(zhuǎn)子呈中空形,為懸臂支承結(jié)構(gòu)。同步傳動齒輪位于軸承支座下面。變頻電機通過聯(lián)軸節(jié)與主動轉(zhuǎn)子連接。該泵的氣體路徑較短,且立式結(jié)構(gòu)對排除含微塵氣體較為有利。泵外殼有水冷卻,泵維修也便利。

  這種類型的泵如果選用適當(dāng)?shù)妮^簡單螺桿牙型截面,則制造簡單,可保證很高的加工精度,且容易動平衡。

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