渦輪式干泵的原理和排氣過(guò)程示意圖
渦輪式干泵是近年來(lái)迅速普及的一種新型干泵,由于其性能優(yōu)越,在真空領(lǐng)域特別是科研用真空設(shè)備方面,正在迅速取代傳統(tǒng)的油封式旋片泵。其主要優(yōu)點(diǎn)如下:
(1)具有較高的壓縮比,在較寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi)有穩(wěn)定的抽速;
(2)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,可靠性高;
(3)工作壓強(qiáng)范圍寬,功率變化小。
渦輪式干泵的基本原理如圖1所示,氣體在由渦旋轉(zhuǎn)子和渦旋定子組成的月牙壓縮腔內(nèi)被壓縮,渦旋定子固定在機(jī)架周邊上,在渦旋定子的周邊上開(kāi)有吸氣口,在渦旋轉(zhuǎn)子和渦旋定子渦旋體中心部開(kāi)有排氣口。渦旋定子和渦旋轉(zhuǎn)子的渦線基本相同,兩者相位錯(cuò)開(kāi)180°,結(jié)果在兩個(gè)渦旋體之間形成了一系列月牙壓縮腔。渦旋轉(zhuǎn)子轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),月牙壓縮腔一面向中心移動(dòng),其容積一面連續(xù)地變小,完成渦輪式干泵的吸氣、壓縮和排氣過(guò)程。
圖1 渦輪式干泵的原理和排氣過(guò)程示意圖
1—渦旋轉(zhuǎn)子;2—渦旋定子