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氣體捕集真空泵

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推薦集成電路制造中低溫泵的應用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進口低溫泵產(chǎn)品的技術發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

離子阱低溫超高真空系統(tǒng)的研制

本文介紹了一套由真空腔體、真空抽氣系統(tǒng)、溫度監(jiān)測及控制系統(tǒng)、脈管制冷機等組成的離子阱低溫超高真空系統(tǒng)。
對吸氣劑除氣有關要素的探討
低溫泵故障分析及解決措施探討

本文將重點對低溫泵的典型故障進行分析，并提出部分解決方法。
主動型氫原子鐘吸氣劑泵的實驗研究

為提高上海天文臺的主動型氫原子鐘真空維持系統(tǒng)-240 L/s 鈦濺射離子泵3~4 年就可能出現(xiàn)的可靠性問題，研制了非蒸散型吸氣劑泵和2 L/s 小離子泵組成的復合泵。
一種新型自動深冷及活化分子篩的吸附泵設計

設計實現(xiàn)了一種新型自動深冷及活化分子篩的吸附泵。
內(nèi)置式深冷泵抽速計算及數(shù)值模擬研究

基于全艙布泵概念設計的內(nèi)置式深冷泵是真空羽流效應實驗中維持真空艙內(nèi)動態(tài)真空度的關鍵設備。對基于麥克斯韋速度分布假設的內(nèi)置式深冷泵抽速計算公式分析發(fā)現(xiàn),該式不適用于帶噴流的空間發(fā)動機羽流實驗艙內(nèi)的動態(tài)真
被動型氫原子鐘吸氣劑泵的應用研究

描述了上海天文臺在2008年為提高被動型氫原子鐘真空系統(tǒng)的可靠性所研制的由非蒸散型吸氣劑泵和小離子泵組成的復合泵的實驗過程
低溫真空泵制冷機二級密封作用試驗

本文針對G-M制冷機中的二級密封作用進行了實驗研究。
非蒸散型吸氣劑泵在真空計量中的應用研究

闡述了非蒸散型吸氣劑(NEG)泵的吸氣機理, 著重介紹了NEG泵在超高/極高真空標準、靜態(tài)膨脹法真空標準等真空計量標準中的最新應用結(jié)果。
基于LabVIEW 的吸氣劑吸氣性能定容測試系統(tǒng)

圖形化編程語言LabVIEW，用于一種吸氣劑吸氣性能定容測試系統(tǒng)。
以低溫泵為主泵的真空檢漏系統(tǒng)研究

低溫泵可以有效提高檢漏系統(tǒng)的工作真空度，對檢漏系統(tǒng)的有效靈敏度影響很小，但以低溫泵為主泵的檢漏系統(tǒng)的反應時間比以分子泵為主泵的檢漏系統(tǒng)反應時間長。
濺射離子泵抽氣系統(tǒng)的操作工藝及操作注意事項
低溫泵再生的判斷方法與條件
低溫泵的常見的幾種再生方式
制冷機低溫泵的日常維護和定期
低溫泵抽氣系統(tǒng)常見故障的排除方法
低溫泵制冷單元的故障對系統(tǒng)的影響

詳細講述了低溫泵制冷單元的故障對系統(tǒng)的影響。
低溫抽氣超高真空系統(tǒng)的烘烤

低溫抽氣超高真空系統(tǒng)的烘烤
低溫泵真空系統(tǒng)操作注意事項

低溫泵真空系統(tǒng)操作注意事項
分子篩可再生的原理

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