氣體捕集真空泵
推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀
本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。
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G-M低溫泵系統(tǒng)的故障診斷與分析
低溫泵系統(tǒng)的故障主要有: 壓縮機故障、低溫泵故障和再生故障。壓縮機故障又分為潤滑油泄漏、氦氣泄漏、不能啟動和噪音。低溫泵故障又分為低溫泵不能冷卻、低溫泵噪音。
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中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的基本結(jié)構(gòu)
中性束系統(tǒng)大抽速低溫泵的主體基本結(jié)構(gòu)，即：以頂部主法蘭為固定支撐，4.5K雙面活性炭涂層的低溫冷面結(jié)合77K的經(jīng)黑化處理過的V字型折流板為主體部件的液氦和液氮雙回路系統(tǒng)。
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非蒸散型吸氣劑在微型離子泵中的應(yīng)用
為確保小尺寸超高真空密封器件的高可靠和長壽命，開發(fā)了一種帶非蒸散型吸氣劑的微型復合離子泵，并研究了非蒸散型吸氣劑對器件存儲和微型離子泵啟動特性的影響。
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幾種組合吸附劑的吸氫等溫線的測定及分析
測定了幾種組合吸附劑在低壓室溫下的吸氫等溫線,該組合吸附劑是由5A分子篩和含有不同比例PdO和Ag2O的吸氣劑組成的。本文對這些吸氫等溫線進行了分析,擬合出在一定范圍內(nèi)適用的吸氫等溫方程式。
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用制冷機低溫泵獲得清潔無油高真空
制冷機低溫泵以其抽速大和無污染的特點，在各行各業(yè)得到了廣泛的應(yīng)用。文章介紹了制冷機低溫泵的工作原理、結(jié)構(gòu)和特點，著重介紹了自主設(shè)計生產(chǎn)的制冷機低溫泵在國內(nèi)最大的空間環(huán)境模擬設(shè)備中調(diào)試和測量的情況，為獲
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蒙特卡洛法計算鈦升華泵抽氣速率的結(jié)果與討論
用蒙特卡洛法計算了HIRFL-CSR 鈦升華泵對于不同氣體吸附系數(shù)在分子流條件下的吸附概率,分析了擋板的形狀和設(shè)置位置對吸附概率的影響,并得到了對H2抽速的計算與實驗數(shù)據(jù)相接近的結(jié)果。
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HIRFL-CSR鈦升華泵的設(shè)計
鈦升華泵與其他無油泵相比,在相同抽氣口徑下具有抽速大、極限真空高(與離子泵配合) 、使用壽命長、結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、價格便宜等優(yōu)點。作者自行研制了適用于超高真空系統(tǒng)的HIRFL-CSR 鈦升華泵。
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用鈦升華泵提高BEPCII同步輻射環(huán)真空度
BEPCII同步輻射要求儲存環(huán)真空室在束流運行時具有較高的真空度，而在供光初期由于束流清掃不夠，往往難以達到足夠高的真空度，因而束流壽命較低。通過激活同步輻射儲存環(huán)上的鈦升華泵可以明顯提高真空度，從而改善束
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