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氣體捕集真空泵

推薦集成電路制造中低溫泵的應(yīng)用及產(chǎn)品發(fā)展現(xiàn)狀

本文介紹了國內(nèi)集成電路制造中進(jìn)口低溫泵產(chǎn)品的技術(shù)發(fā)展現(xiàn)狀，并對比了不同產(chǎn)品的技術(shù)特點。闡述了國產(chǎn)低溫泵進(jìn)軍集成電路制造業(yè)的歷程與現(xiàn)狀。

高速電動渦輪-壓氣機(jī)的性能測試結(jié)果分析

高速電動渦輪－壓氣機(jī)組件性能試驗的結(jié)果，一方面證明將高速電機(jī)引入傳統(tǒng)渦輪－壓氣機(jī)組件而形成的結(jié)構(gòu)方案具有較好的運行穩(wěn)定性和可行性，另一方面也說明高速電機(jī)的驅(qū)動作用可提高空氣循環(huán)機(jī)轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)速度，增大渦
高速電動渦輪-壓氣機(jī)組件性能測試

高速電動渦輪－壓氣機(jī)組件具有結(jié)構(gòu)緊湊、能量輸出能力強等優(yōu)點，可以根據(jù)需要方便地提供制冷空氣。由該組件構(gòu)成的空氣循環(huán)制冷系統(tǒng)可提高環(huán)境控制系統(tǒng)的可控性和節(jié)能效果，豐富空氣循環(huán)制冷的應(yīng)用領(lǐng)域，是一種很有前
高速電動渦輪-壓氣機(jī)組件試驗方法

介紹了一種高速電機(jī)驅(qū)動的新型渦輪－壓氣機(jī)組件的工作原理和設(shè)計方法，并對組件進(jìn)行了性能試驗。
微型離子泵抽速測試結(jié)果及誤差分析

用高純氮氣為抽速測試氣體,離子泵對N2 抽速≥013 L/ s。根據(jù)二極型濺射離子泵對不同氣體抽速的經(jīng)驗比值可知,濺射離子泵對N2 抽速為對干燥空氣抽速的85%。
動態(tài)流導(dǎo)法測濺射離子泵抽速原理與步驟

參考機(jī)械行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JB/T2965,探討了微型濺射離子泵性能測試實驗方法,改建了實驗系統(tǒng),測量了微型濺射離子泵各項性能指標(biāo)。
微型濺射離子泵測試系統(tǒng)及測試方法

參考國內(nèi)外濺射離子泵的測試方法和行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),提出了微型濺射離子泵性能的測試方法,并利用現(xiàn)有實驗設(shè)備設(shè)計了測系統(tǒng),實際測試了微型濺射離子泵的各項性能指標(biāo)。
大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的其它一些參數(shù)設(shè)計

介紹了我國某大型空間環(huán)境試驗設(shè)備中的大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的設(shè)計研究工作, 對設(shè)計研究中的一些技術(shù)問題進(jìn)行了研究探討。
氦制冷低溫真空系統(tǒng)的抽速和熱負(fù)荷的最佳化設(shè)計

影響大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)抽速和熱負(fù)荷的主要結(jié)構(gòu)參數(shù)相互制約, 需要通過蒙特卡洛方法進(jìn)行最佳化設(shè)計。
大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)主要結(jié)構(gòu)設(shè)計

大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的主要技術(shù)性能基本上可以由系統(tǒng)抽速、系統(tǒng)降溫時間和抽氣面積三項指標(biāo)來表達(dá)。氦制冷系統(tǒng)的制冷功率對大型氦制冷低溫真空系統(tǒng)的主要技術(shù)性能的影響也是很大的。
冷凝泵的常規(guī)維護(hù)保養(yǎng)

冷凝泵的常規(guī)維護(hù)保養(yǎng)知識
冷凝泵的基本原理與制冷過程

G-M循環(huán)冷凍機(jī)的降溫過程是吸收外部熱量下降自身溫度的過程,從能量守恒的角度來分析,正好與活塞對外做的功相等。這就是制冷的基本原理。
冷凝泵的內(nèi)部構(gòu)造特點

冷凝泵的內(nèi)部件主要包括導(dǎo)流板、輻射罩、冷板、溫度計、一級冷頭、二級冷頭、冷凍機(jī)、活塞連桿、蓄冷器等等。
低溫泵再生起始和結(jié)束的判斷方法

討論了再生過程中再生起點和再生終點的判斷方法以及低溫泵冷頭溫度的測量方法。
制冷機(jī)低溫泵的常見再生方式

低溫泵捕集的氣體可以以固態(tài)、氣態(tài)或液態(tài)方式除去, 由于以固態(tài)方式除去冷凝物存在很多技術(shù)難題,根據(jù)加熱方式的不同, 再生方式一般分為:自然加熱再生、氣體沖洗再生、電加熱再生三類。
在線處理分子篩純化系統(tǒng)閥門故障

介紹分子篩純化系統(tǒng)可以在線處理的閥門故障和處理措施, 結(jié)合再生氣出口閥不停車更換的實際操作, 總結(jié)不停車處理閥門故障的操作經(jīng)驗。
濺射離子泵泵體發(fā)燙故障原因分析

濺射離子泵泵體發(fā)燙故障的發(fā)生通常是由于泵內(nèi)壓強過高或者油氣進(jìn)入。
濺射離子泵抽速或真空度下降的故障分析

濺射離子泵抽速或真空度下降可能因為離子泵漏氣、離子泵吸氣劑飽和、離子泵泵體重裝后處理不當(dāng)?shù)仍蛟斐傻摹?
冷阱的啟動壓強和冷卻冷阱需要的液氮量

冷阱通液氮越早, 液氮消耗量越大, 通液氮越晚, 擋油效果越差。冷阱正常工作前, 必須由300 K 降到80 K 左右, 此間冷卻內(nèi)膽和障板要消耗液氮。這就需要通過對內(nèi)膽和障板傳熱計算液氮量。
冷阱的主要參數(shù)設(shè)計計算

講敘了冷阱的主要參數(shù)計算，冷阱流導(dǎo)、液氮膽與外殼的設(shè)計、冷阱熱負(fù)荷的計算、障板的設(shè)計等等。
低溫泵故障對低溫泵抽氣性能的影響

氦氣的壓力不足時會影響低溫泵的制冷效率，低溫泵的噪音只出現(xiàn)在低溫泵處于低溫時。此時極有可能是低溫泵的氦氣受到污染, 需要進(jìn)行除污染程序。